中韩半导体ETF（513310）成交额创历史新高，机构买入多只半导体设备股

中韩半导体ETF（513310）今日成交额达315.656亿元，创历史最高纪录，环比上一交易日增长90.63%。多只半导体设备概念股20CM涨停，拓荆科技获两家机构买入5.81亿，华峰测控获三家机构买入3.43亿，中科飞测获两家机构买入1.76亿。