科创板半导体设备三季报透视：16家公司营收均正增长，细分赛道业绩分化

2026年三季度，科创板16家半导体设备企业均实现营收正增长，其中14家盈利、2家亏损。中微公司、拓荆科技等头部企业利润增长较快，盛美上海、芯源微等细分领域厂商利润承压。报道结合公司财报与受访人士观点，将增长动力归结为AI算力及存储扩产、国产替代深水区和晶圆厂资本开支传导。